Центробежный двухкомпонентный газовый комбинированный воздушный компрессор, независимо разработанный Шанхайским научно-исследовательским институтом общего машиностроения «Кайшань», был успешно отлажен и введен в эксплуатацию на ведущей в мире компании по производству интегральных схем в провинции Цзянсу. Все параметры соответствовали требованиям дизайна и заслужили похвалу пользователей.
Как мы все знаем, среди восьми основных материалов в полупроводниковой промышленности электронный газ является основным сырьем после кремния, на его долю приходится 13,5% стоимости материалов для изготовления полупроводниковых пластин. Электронные газы широко используются при ионной имплантации, травлении, паровой фазе, осаждении, легировании и других процессах в процессах производства электронных изделий. Их называют «пищей» и «источником» интегральных схем, ЖК-панелей, светодиодов, фотоэлектрических элементов и других материалов. Производительность электронных полупроводниковых приборов тесно связана с качеством электронных газов, а азот высокой/сверхвысокой чистоты является одним из наиболее важных компонентов электронных газов. Он используется для инертной защиты, газа-носителя, специальных газов, выхлопных газов для продувки трубопроводов. Сырьевой газ и технологический газ незаменимы в процессах производства полупроводников, таких как разбавление и плазменная имплантация. Центробежный двухкомпонентный газовый комбинированный компрессорный агрегат является основным оборудованием в процессе производства азота высокой чистоты. Этот тип рынка компрессоров уже давно монополизирован американскими компаниями.
На этот раз успешно введенный в эксплуатацию агрегат является первым отечественным компрессором такого типа производства Kaishan и с полностью независимыми правами интеллектуальной собственности. Он используется в системе производства азота всемирно известной газовой компании из списка Fortune 500. Это также первый раз, когда эта компания сотрудничает с китайскими производителями компрессоров. Успешная работа значительно повысила рыночную конкурентоспособность системы подготовки азота высокой чистоты. Это результат четырехлетних совместных усилий обеих сторон.
Одновременно завершены отладочные работы двух комплектов воздушного компрессора данного типа, используемых в отечественных системах подготовки азота высокой чистоты. Все параметры соответствовали проектным требованиям, а некоторые параметры даже превосходили проектные требования.
За последние два десятилетия Kaishan продолжала вкладывать значительные средства в основные технологии и постепенно добилась определенных технологических преимуществ в различных областях, таких как винты, турбины, поршневые компрессоры, детандеры и вакуумные насосы. В условиях нынешнего растущего спроса на «локализацию» это технологическое преимущество позволяет нашим китайским пользователям не только не жертвовать качеством необходимого им оборудования за счет «локализации», но и получать после «локализации» более надежное оборудование. Качество продукции и низкое энергопотребление. Наши международные пользователи отмечают, что китайское оборудование, представленное Kaishan, принесло им большую выгоду. Успешная работа этого центробежного комбинированного газового воздушного компрессора двойного действия — лишь небольшой пример вышесказанного.
Время публикации: 25 октября 2023 г.
