Центробежный двухсредный комбинированный газовый воздушный компрессор, самостоятельно разработанный исследовательским институтом общего машиностроения Kaishan Shanghai General Machinery Research Institute, был успешно отлажен и введен в эксплуатацию на ведущем мировом предприятии по производству интегральных схем в провинции Цзянсу. Все параметры соответствуют проектным требованиям и получили высокую оценку пользователей.
Как всем известно, среди восьми основных материалов полупроводниковой промышленности электронный газ является основным сырьем после кремния, составляя 13,5% стоимости материалов для производства полупроводниковых пластин. Электронные газы широко используются в ионной имплантации, травлении, газофазном осаждении, легировании и других процессах производства электронных изделий. Их называют «пищей» и «источником» интегральных схем, ЖК-панелей, светодиодов, фотоэлектрических систем и других материалов. Производительность электронных полупроводниковых приборов тесно связана с качеством электронных газов, и азот высокой/сверхвысокой чистоты является одним из важнейших представителей электронных газов. Он используется в качестве инертного газа, газа-носителя, специальных газов, выхлопных газов для продувки трубопроводов. Сырьевой и технологический газы незаменимы в процессах производства полупроводников, таких как разбавление и плазменная имплантация. Центробежный двухсредный газовый комбинированный компрессор является основным оборудованием в процессе производства высокочистого азота. Рынок этого типа компрессоров долгое время был монополизирован американскими компаниями.
Успешно введенный в эксплуатацию агрегат стал первым отечественным компрессором подобного типа, произведенным компанией Kaishan и обладающим полностью независимыми правами интеллектуальной собственности. Он используется в системе производства азота всемирно известной газовой компании, входящей в список Fortune 500. Кроме того, это первый случай сотрудничества компании с китайскими производителями компрессоров. Успешная эксплуатация значительно повысила конкурентоспособность системы подготовки высокочистого азота компании на рынке. Это результат четырех лет совместных усилий обеих сторон.
Одновременно завершены работы по отладке двух комплектов данного типа воздушных компрессоров, используемых в отечественных системах получения высокочистого азота. Все параметры соответствуют проектным требованиям, а некоторые даже превышают их.
За последние два десятилетия компания Kaishan продолжала активно инвестировать в основные технологии и постепенно достигла определённых технологических преимуществ в различных областях, таких как винтовые компрессоры, турбины, поршневые компрессоры, детандеры и вакуумные насосы. В условиях растущего спроса на «локализацию» это технологическое преимущество позволяет нашим китайским пользователям не только не жертвовать качеством необходимого им оборудования из-за «локализации», но и получать более надёжное оборудование после «локализации». Качество продукции и снижение энергопотребления. Наши зарубежные пользователи отмечают, что китайское оборудование, представленное Kaishan, принесло им больше преимуществ. Успешная эксплуатация этого центробежного двухсредного газового комбинированного воздушного компрессора — лишь небольшой пример вышесказанного.
Время публикации: 25 октября 2023 г.
